ProcessTool ID Move StatusTool Down Online TargetOnline Actual Cory Room #MNL Room #
 Clean cpd Micro-Up   432B382
 Clean cpd2 Micro-Up   432B382
 Clean msink1Nano-Up   28-Sep-09 NA 382
 Clean msink10      382A
 Clean msink12      586
 Clean msink14      586
 Clean msink16New Rcvd     582A
 Clean msink18New Rcvd     582A
 Clean msink2     NA382
 Clean msink3Nano-Up   28-Sep-09 NA 382
 Clean msink4     420 GL2382
 Clean msink5New Rcvd     382
 Clean msink6New Rcvd     386
 Clean msink7      386
 Clean msink8New Rcvd     386
 Clean sink3 Micro-Up   420 GL2NA
 Clean sink4 Micro-Up   420 Y1NA
 Clean sink432a Micro-Up   432ANA
 Clean sink432c Micro-Up   432CNA
 Clean sink5 Micro-Up   420 Y2NA
 Clean sink6 Micro-Up   420 VLSI1NA
 Clean sink7 Micro-Up   420 VLSI2NA
 Clean sink8Micro-Up    420 VLSI2 
 Clean sink9 Micro-Up   420 VLSI2NA
 Clean sinkcmpMicro-Up     NA
 Clean sinkplate Micro-Up   432DNA
 Clean srdsink5Micro-Up      
 Clean srdsink6Micro-Up      
 Clean srdsink8Micro-Up      
 Litho aptchromeMicro-Up     382A
 Litho aptemulMicro-Up     382A
 Litho asmlMicro-Up     NA
 Litho asml300NA     384
 Litho axcelisNew Rcvd      
 Litho bakeovenMicro-Up     382
 Litho canonMicro-Up     382
 Litho crestecTool-Down  28-Sep-09 12-Oct-09   384
 Litho gcapgMicro-Up  7-Dec-09 21-Dec-09   382A
 Litho gcaws2Micro-Up     384
 Litho gcaws6Micro-Up     384
 Litho jeol107Micro-Up     NA
 Litho ksalignerMicro-Up     382
 Litho maskcopyMicro-Up     382A
 Litho primeovenMicro-Up     382
 Litho quintelMicro-Up     382
 Litho spinner1Micro-Up      
 Litho spinner2NA     382
 Litho spinner3NA      
 Litho svgcoat1Micro-Up     384
 Litho svgcoat2Micro-Up     384
 Litho svgcoat3Micro-Up     384
 Litho svgcoat6Micro-Up     384
 Litho svgdevMicro-Up     384
 Litho svgdev6Micro-Up     384
 Litho telact12New Rcvd     384
 Litho uvbakeMicro-Up     384
 Thermal heatpulse1Micro-Up     582
 Thermal heatpulse2Micro-Up     582
 Thermal heatpulse3Micro-Up     386
 Thermal heatpulse4Micro-Up     386
 Thermal heatpulse8New Rcvd     386
 Thermal nanoxMicro-Up     582
 Thermal tylan5NA     NA
 Thermal tylan6NA     NA
 Thermal tylan7NA     NA
 Thermal tylan8TBD     NA
 Thermal tystar1Micro-Up     386
 Thermal tystar10Micro-Up     386
 Thermal tystar11Micro-Up     386
 Thermal tystar12Micro-Up     386
 Thermal tystar13Micro-Up     386
 Thermal tystar14Micro-Up     386
 Thermal tystar15Micro-Up     386
 Thermal tystar16Micro-Up     386
 Thermal tystar17Micro-Up     386
 Thermal tystar18Micro-Up     386
 Thermal tystar19Micro-Up     386
 Thermal tystar2Micro-Up     386
 Thermal tystar20Micro-Up     386
 Thermal tystar3Micro-Up     386
 Thermal tystar4Micro-Up     386
 Thermal tystar5NA     386
 Thermal tystar6NA     386
 Thermal tystar7NA     386
 Thermal tystar9Micro-Up     386
 Thermal vacovenMicro-Up     582A
 Thermal vacoven2New Rcvd     582A
 ThinFilm alnMicro-Up     586
 ThinFilm aln2New Rcvd  31-Oct-09 2-Dec-09   586
 ThinFilm amatepiMicro-Up     586/597
 ThinFilm amatgateNA     586/597
 ThinFilm amstMicro-Up     582A
 ThinFilm cambridgeNA     TBD
 ThinFilm cpaMicro-Up     584
 ThinFilm dwMicro-Up     582
 ThinFilm edwardsMicro-Up     582
 ThinFilm edwardseb3Micro-Up     582
 ThinFilm gartekMicro-Up     582
 ThinFilm hummerMicro-Up  13-Oct-09 15-Oct-09   380
 ThinFilm iondepMicro-Up     584
 ThinFilm mocvdMicro-Up     NA
 ThinFilm mocvd2New Rcvd     586
 ThinFilm novellusMicro-Up     NA
 ThinFilm nrcMicro-Up     582
 ThinFilm oxford2Micro-Up     584
 ThinFilm p5000Micro-Up     NA
 ThinFilm paryleneMoveSched  13-Oct-09 15-Oct-09   582A
 ThinFilm picosunMicro-Up     586
 ThinFilm pqecrMicro-Up     584
 ThinFilm randexMicro-Up     582
 ThinFilm topgunMicro-Up     584
 ThinFilm ultekMicro-Up     582
 ThinFilm v401Micro-Up     582
 Etch centura Micro-Up   420 GL1586/597
 Etch centura-metMicro-Up     586/597
 Etch centura-mxpMicro-Up     586/597
 Etch centura-striMicro-Up     586/597
 Etch hfvaporMicro-Up     382
 Etch ionmillMicro-Up     582
 Etch lam1NA     NA
 Etch lam2Micro-Up      
 Etch lam3TBD     584
 Etch lam4Micro-Up     584
 Etch lam5Micro-Up     584
 Etch lam6New Rcvd     584
 Etch lam7New Rcvd     584
 Etch lam8NA     584
 Etch matrixMicro-Up     384
 Etch oxfordMicro-Up     584
 Etch pthermMicro-Up     582
 Etch semiMicro-Up     584
 Etch stsMicro-Up     584
 Etch technics-cMicro-Up     584
 Etch xetchMicro-Up     584
 Metrology 4ptprbMicro-Up     380
 Metrology afm2NA     NA
 Metrology asiqMicro-Up     380
 Metrology autoprobeNA     NA
 Metrology dektakMicro-Up     584
 Metrology filmtekMicro-Up     NA
 Metrology flexusMicro-Up     380
 Metrology ivMicro-Up     380
 Metrology krussMicro-Up     582A
 Metrology leoMoveSched  8-Oct-09 19-Oct-09   380
 Metrology linewidthMicro-Up     380
 Metrology memscopeMicro-Up      
 Metrology micro TBD       
 Metrology microscopeMicro-Up      
 Metrology microvisionNA      
 Metrology nanoduvMicro-Up     380
 Metrology nanospecMicro-Up     380
 Metrology probe145Micro-Up  2-Dec-09 4-Dec-09   380
 Metrology probe145-2Micro-Up  2-Dec-09 4-Dec-09   380
 Metrology reichertMicro-Up     386
 Metrology rs100New Rcvd     380
 Metrology rudolphMicro-Up     386
 Metrology scaMicro-Up     386
 Metrology sopraMicro-Up  17-Nov-09 18-Nov-09   380
 Metrology tensiometerMicro-Up     582A
 Metrology uvscopeMicro-Up     384
 Metrology wykoMicro-Up     380
 Metrology xdifMoveSched  20-Oct-09 23-Oct-09   380
 Package flipchipMicro-Up     382
 Package ksba6Micro-Up     382
 Package ksbonderMicro-Up     382
 Package wafersawMicro-Up     582A
 Package westbondMicro-Up  10-Nov-09 12-Nov-09   380
 Package westbond2Micro-Up  11-Nov-09 13-Nov-09   380
 Planarize cmpMicro-Up     NA
 Planarize cmp2NA     582A
 Planarize lapperMicro-Up     582A
 Planarize polisherMicro-Up     582A